该技术通过抽气井产生真空，使形成一个压力或浓度梯度，并使气相中的挥发性有机物由抽气井抽出，从而使土壤中的挥发性或半挥发性污染物质得到去除。工程实施时，往往需要在地表面覆盖地形膜，以防止发生短路，并可增加抽气井的作用范围。该技术主要用于挥发性有机污染物(通常为亨利系数，大于0.01或者蒸汽压大于66.66Pa的有机物)的处理，但要求土壤的质地均一、渗透性好、孔隙率大、湿度小且地下水位较低。有时，该技术也用于去除土壤中的油类、有机金属、多环芳烃(PAHs)或二噁英等污染物。另外，由于原位蒸汽抽提技术在实施时向土壤中连续引入空气流，促进了土壤中一些低挥发性有机物的生物好氧降解过程。根据要求的修复程度、修复土壤的体积、污染物浓度及分布、现场条件(如土壤渗透性、各向异质性等)、工艺设施的工作能力等情况的不同，该技术所需的实施时间为，6～12个月，所需费用约为26～78美元/m³ 。